[发明专利]一种线性蒸发源装置有效
| 申请号： | 201210552916.9 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103866239A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 于大洋;王葛;丁建 | 申请（专利权）人： | 北京汉能创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发源装置，尤其涉及一种铜铟镓硒薄膜电池生产工艺中的线性蒸发源装置。该线性蒸发源装置包括：材料腔室、喷嘴盖和加热源，所述喷嘴盖位于所述材料腔室的上方并具有多个喷嘴，所述加热源的数量为两个或两个以上，均匀分布在所述材料腔室的下方，且每个所述加热源具有独立的控温系统。该线性蒸发源装置实现了分区控温，从而提高了铜铟镓硒共蒸发工艺中对蒸发量的控制灵活性，同时有效降低了因长时间使用导致的喷嘴堵塞对镀膜均匀性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种线性蒸发源装置，用于在基板上沉积薄膜，包括：材料腔室、喷嘴盖和加热源，所述喷嘴盖位于所述材料腔室的上方并具有多个喷嘴，其特征在于：所述加热源的数量为两个或两个以上，均匀分布在所述材料腔室的下方，且每个所述加热源具有独立的控温系统。
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