[发明专利]喷淋板的制造方法、喷淋板及等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种喷淋板及其制造方法、和使用了它的等离子体处理装置、处理方法及电子装置的制造方法。该喷淋板能够更完全地防止等离子体发生逆流、或在纵孔部分的等离子体激励用气体发生着火，从而可以高效地激励等离子体。喷淋板（105）配置在等离子体处理装置的处理室（102）中，为了在处理室（102）中产生等离子体而排出等离子体激励用气体，其中，在形成为等离子体激励用气体的排出路径的纵孔（112）中安装有具有在气体流通方向上连通的气孔的多孔质气体流通体（114）。将由多孔质气体流通体（114）的连通的气孔形成的气体流通路径中的狭路的气孔直径设在10μm以下。

主权项

一种喷淋板的制造方法，将具有一个以上的气体排出孔的陶瓷构件的生坯体、脱脂体、预烧结体或烧结体装入在对原料粉末进行成型而加工形成有纵孔的喷淋板的生坯体、脱脂体或预烧结体的上述纵孔中之后，同时烧结它们。