[发明专利]喷淋板的制造方法、喷淋板及等离子体处理装置无效
| 申请号： | 201210549666.3 | 申请日： | 2007-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103044063A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 桶作正广;后藤哲也;大见忠弘;石桥清隆 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | C04B38/00 | 分类号： | C04B38/00;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/306;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷淋 制造 方法 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷淋板的制造方法，
将具有一个以上的气体排出孔的陶瓷构件的生坯体、脱脂体、预烧结体或烧结体装入在对原料粉末进行成型而加工形成有纵孔的喷淋板的生坯体、脱脂体或预烧结体的上述纵孔中之后，同时烧结它们。
2.一种喷淋板，其特征在于，
该喷淋板是利用权利要求1所述的喷淋板的制造方法所制造的喷淋板。
3.一种等离子体处理装置，其特征在于，
该等离子体处理装置具有权利要求2所述的喷淋板。
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