[发明专利]泵系统、二氧化碳供给系统、抽取系统、光刻设备和器件制造方法

摘要

本发明公开了一种泵系统、一种二氧化碳供给系统、一种抽取系统、一种光刻设备和一种器件制造方法。所述抽取系统包括：泵，用于将气体沿着管道泵送至止回阀，所述止回阀配置成在上游压强高于一定的幅值时打开；压强传感器，用于生成指示在泵和止回阀之间的气压的信号；和控制器，所述控制器配置成在来自压强传感器的信号指示在泵和止回阀之间的气压低于一定的幅值的情况下生成停止信号。

主权项

一种二氧化碳供给系统，用于将二氧化碳从源供给至装置，所述二氧化碳供给系统包括：供给管线，用于二氧化碳从源流至所述装置；供给管线中的阀，所述阀具有打开位置和关闭位置，其中在打开位置中，气体能够沿着供给管线流动，在关闭位置中，气体沿着供给管线的流动被阻断；和控制系统，所述控制系统包括：在供给管线中的第一开关，所述第一开关用于在供给管线中的气体的第一流量或压强下切换，和在供给管线中的第二开关，所述第二开关用于在供给管线中的气体的第二流量或压强下切换，其中控制系统配置成在以下情况(i)或(ii)下将阀从打开位置移动至关闭位置：(i)来自第一开关的信号指示在供给管线中的气体流量高于第一流量或压强高于第一压强；或(ii)来自第二开关的信号指示在供给管线中的气体流量低于第二流量或压强低于第二压强。