[发明专利]一种堆叠-插片转换系统和方法在审
申请号: | 201210540970.1 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103872173A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 南建辉;王宝全;陈伟;舒晓芬;苏晓峰;张金斌;杨斌;宋巧丽 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种堆叠-插片转换系统和方法,用于将工件在堆叠存储方式和插片存储方式之间的相互转换。该转换系统包括堆叠料盒、堆叠料盒上下料装置、插片料盒、插片料盒上下料装置、以及传输机构;堆叠料盒上下料装置用于在堆叠料盒和第一位置之间传输工件;传输机构用于在第一位置和第二位置之间传输工件;插片料盒上下料装置用于将插片料盒中的卡槽与所述传输机构上的第二位置对准,使得工件能够在所述第二位置和所述卡槽之间直接传输。通过该转换系统,避免了由人工实现工件的堆叠存储方式和插片式储存方式之间的转换时所耗费的人力和时间,提高了生产和加工的效率,使得工件的生产过程能够满足高产能的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 堆叠 转换 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种堆叠‑插片转换系统,用于将工件在堆叠存储方式和插片存储方式之间的相互转换,其特征在于,所述堆叠‑插片转换系统包括堆叠料盒、堆叠料盒上下料装置、插片料盒、插片料盒上下料装置,以及传输机构;其中,所述堆叠料盒上下料装置,用于在所述堆叠料盒和所述传输机构的第一位置之间传输工件;所述传输机构,位于所述堆叠料盒上下料装置与所述插片料盒上下料装置之间,所述传输机构用于在第一位置和第二位置之间传输工件,所述第一位置是传输机构上与所述堆叠料盒对应的位置,所述第二位置是传输机构上与所述插片料盒对应的位置;所述插片料盒上下料装置,用于将所述插片料盒中的卡槽与所述传输机构上的第二位置对准,使得工件能够在所述第二位置和所述卡槽之间直接传输。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210540970.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的