[发明专利]一种堆叠-插片转换系统和方法在审

专利信息
申请号: 201210540970.1 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN103872173A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 南建辉;王宝全;陈伟;舒晓芬;苏晓峰;张金斌;杨斌;宋巧丽 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开一种堆叠-插片转换系统和方法,用于将工件在堆叠存储方式和插片存储方式之间的相互转换。该转换系统包括堆叠料盒、堆叠料盒上下料装置、插片料盒、插片料盒上下料装置、以及传输机构;堆叠料盒上下料装置用于在堆叠料盒和第一位置之间传输工件;传输机构用于在第一位置和第二位置之间传输工件;插片料盒上下料装置用于将插片料盒中的卡槽与所述传输机构上的第二位置对准,使得工件能够在所述第二位置和所述卡槽之间直接传输。通过该转换系统,避免了由人工实现工件的堆叠存储方式和插片式储存方式之间的转换时所耗费的人力和时间,提高了生产和加工的效率,使得工件的生产过程能够满足高产能的要求。
搜索关键词: 一种 堆叠 转换 系统 方法
【主权项】:
一种堆叠‑插片转换系统,用于将工件在堆叠存储方式和插片存储方式之间的相互转换,其特征在于,所述堆叠‑插片转换系统包括堆叠料盒、堆叠料盒上下料装置、插片料盒、插片料盒上下料装置,以及传输机构;其中,所述堆叠料盒上下料装置,用于在所述堆叠料盒和所述传输机构的第一位置之间传输工件;所述传输机构,位于所述堆叠料盒上下料装置与所述插片料盒上下料装置之间,所述传输机构用于在第一位置和第二位置之间传输工件,所述第一位置是传输机构上与所述堆叠料盒对应的位置,所述第二位置是传输机构上与所述插片料盒对应的位置;所述插片料盒上下料装置,用于将所述插片料盒中的卡槽与所述传输机构上的第二位置对准,使得工件能够在所述第二位置和所述卡槽之间直接传输。
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