[发明专利]一种堆叠-插片转换系统和方法在审
申请号: | 201210540970.1 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103872173A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 南建辉;王宝全;陈伟;舒晓芬;苏晓峰;张金斌;杨斌;宋巧丽 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 堆叠 转换 系统 方法 | ||
1.一种堆叠-插片转换系统,用于将工件在堆叠存储方式和插片存储方式之间的相互转换,其特征在于,所述堆叠-插片转换系统包括堆叠料盒、堆叠料盒上下料装置、插片料盒、插片料盒上下料装置,以及传输机构;其中,
所述堆叠料盒上下料装置,用于在所述堆叠料盒和所述传输机构的第一位置之间传输工件;
所述传输机构,位于所述堆叠料盒上下料装置与所述插片料盒上下料装置之间,所述传输机构用于在第一位置和第二位置之间传输工件,所述第一位置是传输机构上与所述堆叠料盒对应的位置,所述第二位置是传输机构上与所述插片料盒对应的位置;
所述插片料盒上下料装置,用于将所述插片料盒中的卡槽与所述传输机构上的第二位置对准,使得工件能够在所述第二位置和所述卡槽之间直接传输。
2.如权利要求1所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,所述堆叠料盒上下料装置,包括第一动力源和吸片机构,所述第一动力源包括水平动力源和竖直动力源,所述水平动力源用于在堆叠料盒上方和所述第一位置上方之间移动所述吸片机构;
所述吸片机构用于在第一动力源的驱动下,将工件从堆叠料盒中传输至所述传输机构的第一位置;其中:所述竖直动力源用于在吸片机构位于堆叠料盒上方时,降低吸片机构的位置,使得吸片机构能够从堆叠料盒中吸附工件,以及用于在吸片机构位于第一位置上方时,降低吸片机构的位置,使得吸片机构能够将工件放置于所述第一位置;和/或,
所述吸片机构用于在第一动力源的驱动下,将工件从传输机构的第一位置传输至堆叠料盒中;其中:所述竖直动力源用于在吸片机构位于堆叠料盒上方时,降低吸片机构的位置,使得吸片机构能够将工件放置于堆叠料盒中,以及用于在吸片机构位于第一位置上方时,降低吸片机构的位置,使得吸片机构能够从所述第一位置中吸附工件。
3.如权利要求2所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,所述堆叠料盒的数目为N个,N为大于1的整数,所述吸片机构的数目为N个;吸片机构分别与所述堆叠料盒一一对应;
当部分吸片机构运动至对应的堆叠料盒上方时,其它的吸片机构同时移动至传输机构的上方。
4.如权利要求3所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,堆叠料盒的数目为2个,所述堆叠料盒包括第一堆叠料盒和第二堆叠料盒,所述吸片机构包括与第一堆叠料盒对应的第一吸片机构、以及与第二堆叠料盒对应的第二吸片机构;
所述第一吸片机构和第二吸片机构被设置为:当第一吸片机构在水平动力源的驱动下从传输机构上方移动至对应的堆叠料盒上方时,第二吸片机构在水平动力源的驱动下从对应的堆叠料盒上方移动至传输机构上方;当第一吸片机构在水平动力源的驱动下从对应的堆叠料盒上方移动至传输机构上方时,第二吸片机构在水平动力源的驱动下从传输机构上方移动至对应的堆叠料盒上方。
5.如权利要求3所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,
所述吸片机构连接至同一个竖直动力源;或,
所述吸片机构分别连接至各自对应的竖直动力源。
6.如权利要求2所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,所述竖直动力源在驱动吸片机构从堆叠料盒中吸附工件时,每次均以相同的行程降低吸片机构的位置,
所述堆叠料盒上下料装置还包括升料机构,所述升料机构用于在吸片机构取片或者放片的过程中,将堆叠料盒中的工件移动一预定距离,使得工件位于吸片机构能够进行取片或者放片的高度;
其中,所述升料机构包括连接杆、底板、以及升料动力源,所述底板设置于堆叠料盒的底部,所述连接杆能够在所述升料动力源的驱动下进行上下移动,并穿过堆叠料盒底部的开孔移动底板,以使放置在所述底板上的工件能够上下移动。
7.如权利要求1所述的堆叠-插片转换系统,其特征在于,所述插片料盒上下料装置包括第二动力源,所述第二动力源用于驱动所述插片料盒上下运动,以实现插片料盒中将要放置工件的卡槽与所述传输机构上的第二位置的对准。
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