[发明专利]大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置

摘要

大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，属于深紫外波段偏振光学薄膜元件光谱检测技术领域，从左到右依次设置ArF激光光源、ArF激光扩束准直镜、可变光阑、起偏器、分束器，分束器将光分为两路光，反射光方向为参比光路，参比光路方向从下至上设置参比光检偏器和参比光探测器，透射光方向为测试光路，测试光路方向从左至右依次设置旋转样品台、测试光检偏器和测试光探测器，在测试光检偏器和测试光探测器之间设置聚焦透镜组，聚焦透镜组由凸凹透镜组组合而成；用于抑制大角度偏振光谱测试时由于光斑扩束导致探测器接收表面的丢光现象。

主权项

大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，从左至右依次设置ArF激光光源、ArF激光扩束准直镜（4）、可变光阑（5）、起偏器（6）、分束器（7），分束器（7）将光分为两路光，反射光方向为参比光路，参比光路方向从下至上设置参比光检偏器（8）和参比光探测器（9），透射光方向为测试光路，测试光路方向从左至右依次设置旋转样品台（10）、测试光检偏器（11）和测试光探测器（13），其特征是，在测试光检偏器（11）和测试光探测器（13）之间设置193nm聚焦透镜组（12），193nm聚焦透镜组（12）由凸凹透镜组组合而成，所述激光扩束准直镜（4）和可变光阑（5）设置在第一真空腔体（1）中，起偏器（6）设置在第二真空腔体（2）中，分束器（7）、参比光检偏器（8）、参比光探测器（9）、旋转样品台（10）、测试光检偏器（11）、193nm聚焦透镜组（12）和测试光探测器（13）设置在第三真空腔体（3）中。