[发明专利]大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置

权利要求书

1.大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，从左至右依次设置ArF激光光源、ArF激光扩束准直镜（4）、可变光阑（5）、起偏器（6）、分束器（7），分束器（7）将光分为两路光，反射光方向为参比光路，参比光路方向从下至上设置参比光检偏器（8）和参比光探测器（9），透射光方向为测试光路，测试光路方向从左至右依次设置旋转样品台（10）、测试光检偏器（11）和测试光探测器（13），其特征是，在测试光检偏器（11）和测试光探测器（13）之间设置193nm聚焦透镜组（12），193nm聚焦透镜组（12）由凸凹透镜组组合而成，所述激光扩束准直镜（4）和可变光阑（5）设置在第一真空腔体（1）中，起偏器（6）设置在第二真空腔体（2）中，分束器（7）、参比光检偏器（8）、参比光探测器（9）、旋转样品台（10）、测试光检偏器（11）、193nm聚焦透镜组（12）和测试光探测器（13）设置在第三真空腔体（3）中。

2.根据权利要求1所述的大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，其特征在于，第一真空腔体（1）沿水平入射光路方向前后相对设有两个通光口；第二真空腔体（2）沿水平入射光路方向前后相对设有两个通光口，在垂直入射光路方向设有开口，用于偏振光谱测试时起偏器（6）在测试光路中的嵌入；第三真空腔体（3）在沿水平入射光路方向设有前通光口，第三真空腔体（3）的腔体尾部安装N₂气排气管路，第三真空腔体（3）轴向上部的密封板上设有开口，利用带有密封胶圈的盖子进行密封；第一真空腔体（1）的前通光口用熔石英或CaF₂窗口密封，在其侧壁设置通入N₂气的连接管路，其后通光口通过一段真空管路与第二真空腔体（2）的前通光口相连；第二真空腔体（2）的后通光口通过一段真空管路与第三真空腔体（3）的前通光口相连。

3.根据权利要求1所述的大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，其特征在于，样品台（10）形状为圆形，圆心位于入射光线中心，通过数控系统控制步进电机驱动使样品台（10）围绕圆心在水平方向0-360度范围内连续转动，并使样品台（10）进行垂直基面内的二维定位。

4.根据权利要求3所述的大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置，其特征在于，测试光检偏器（11）和测试光探测器（13）设置在旋转臂上，可绕样品台（10）的圆心旋转，旋转角度范围为入射光与旋转样品台（10）中心连线±90度。