[发明专利]一种硅波导折射率热光调节结构

摘要

本发明公开了一种硅波导折射率热光调节结构，从下至上依次包括衬底、下包层、波导层、上包层和电极层；所述的波导层呈脊型，脊型中央区为轻掺杂的本征i区，两侧平板区分别为重掺杂区；所述的上包层两侧设有金属通孔，通过该通孔使波导层的重掺杂区与电极层相连。在外部电源通电注入电流后，波导层产生热量，波导芯区温度升高，折射率升高，从而实现热光调节效果，本发明利用波导层作为热电阻产生热量，热源与光场直接作用，相对于传统采用金属电阻的热光调节结构，具有功耗更低、响应时间更短的特点。

主权项

一种硅波导折射率热光调节结构，其特征在于，从下至上依次包括衬底(1)、下包层(2)、波导层(3)、上包层(4)和电极层(5)；所述的波导层呈脊型，脊型中央区为轻掺杂的本征i区，两侧平板区分别为重掺杂区；所述的上包层两侧设有金属通孔，通过该通孔使波导层的重掺杂区与电极层相连。