[发明专利]磷化铟多晶材料的快速合成方法及其多管石英磷泡无效
| 申请号： | 201210510800.9 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102965734A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 孙聂枫;孙同年;杨瑞霞;杨帆;李晓岚 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/10 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 050051 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷化铟多晶材料的快速合成方法，包括以下步骤：第一步，对铟进行表面清洗处理；第二步，将装有磷的多管石英磷泡装入磷源炉内；第三步，然后将预先设计的保温系统、加热器、装有铟的坩埚、磷源炉以及籽晶和B2O3装进高压单晶炉炉膛内；第四步，对炉内抽真空，充高纯氩气；第五步，将磷泡内的磷加热汽化注入到铟熔体中反应生成磷化铟；第六步，进行晶体生长。所用的多管石英磷泡，包括石英磷容器、至少两个石英磷泡管和石英盖。本发明方法采用多管石英磷泡实现了快速多管磷注入合成技术，解决了原有技术中合成时间长、熔体配比不均以及杂质污染等问题，实现了磷化铟材料的快速高效高纯度合成，更容易进行InP单晶生长。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化 多晶 材料 快速 合成 方法 及其 石英 | ||
【主权项】：
一种磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于包括以下步骤：第一步，对铟进行表面清洗处理，将清洗后的铟烘干备用；第二步，将装有磷的多管石英磷泡装入磷源炉内，多管石英磷泡包括至少两个石英磷泡管；第三步，将高压单晶炉擦洗干净，然后将预先设计的保温系统、加热器、装有铟的坩埚、合成所用的磷源炉以及籽晶和液封剂B2O3装进高压单晶炉炉膛内；第四步，对炉内抽真空，然后充高纯氩气；第五步，将磷泡内的磷加热汽化注入到铟熔体中反应生成磷化铟；第六步，进行晶体生长。
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