[发明专利]磷化铟多晶材料的快速合成方法及其多管石英磷泡

权利要求书

1.一种磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于包括以下步骤：

第一步，对铟进行表面清洗处理，将清洗后的铟烘干备用；

第二步，将装有磷的多管石英磷泡装入磷源炉内，多管石英磷泡包括至少两个石英磷泡管；

第三步，将高压单晶炉擦洗干净，然后将预先设计的保温系统、加热器、装有铟的坩埚、合成所用的磷源炉以及籽晶和液封剂B₂O₃装进高压单晶炉炉膛内；

第四步，对炉内抽真空，然后充高纯氩气；

第五步，将磷泡内的磷加热汽化注入到铟熔体中反应生成磷化铟；

第六步，进行晶体生长。

2.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第一步，对铟进行表面处理以去除铟表面的氧化物和残余杂质，确保铟达到6N纯净度，且表面无尘土杂质。

3.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第二步，磷的纯净度为6N。

4.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第四步中炉内的真空度小于10²Pa。

5.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第四步中炉内充2MPa的高纯氩气。

6.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第五步将坩埚内铟熔体加热到预定温度，待温度稳定后将石英磷泡管插入铟熔体内，将磷泡内的磷加热汽化注入到铟熔体中反应生成磷化铟。

7.如权利要求6所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第五步中所述预定温度为1355～1395K。

8.如权利要求1所述的磷化铟多晶材料的快速合成方法，其特征在于：第六步中采用高压液封直拉法进行晶体生长。

9.如权利要求1～8中任一项磷化铟多晶材料的快速合成方法所用的多管石英磷泡，包括用于盛装固体磷的石英磷容器（1）和石英盖（3）；其特征在于：还包括至少两个石英磷泡管（2），所述磷泡管（2）底端从石英磷容器（1）的底部穿进所述磷容器内，磷泡管（2）底端具有供磷蒸汽通过的孔，所述磷泡管（2）的开口端位于石英磷容器（1）外；所述磷泡管（2）、石英盖（3）与石英磷容器（1）之间密封连接。

10.如权利要求9所述的多管石英磷泡，其特征在于：包括两个石英磷泡管（2）。