[发明专利]透镜单元以及激光加工装置有效
| 申请号： | 201210452192.0 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103128439A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 石塚智彦;伊藤健治;成濑正史;高桥悌史 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;G02B7/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金光华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置（100）中，在fθ透镜（5）中使用了能够用温度检测器（14）测定高能量的激光波束（2）的瞬间的吸收所致的光学透镜（11a、11b）的温度变化的透镜单元（20）。在光学透镜（11a、11b）的激光波束非照射部分（16）中设置了多个温度检测器（14），控制装置（9）根据由温度检测器（14）测定的温度信号，校正激光波束（2）的聚光点位置来进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 单元 以及 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种透镜单元，向对象物聚光照射激光波束，具备：光学透镜；镜筒，保持所述光学透镜；以及多个温度检测器，其中，所述多个温度检测器设置于在所述光学透镜的激光波束照射区域与所述光学透镜的外周之间存在的激光波束非照射部分，对用于求出所述光学透镜的平均温度或者用于求出所述光学透镜的平均温度以及面内的温度分布的温度信号进行测定。
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