[发明专利]透镜单元以及激光加工装置

权利要求书

1.一种透镜单元，向对象物聚光照射激光波束，具备：

光学透镜；

镜筒，保持所述光学透镜；以及

多个温度检测器，其中，

所述多个温度检测器设置于在所述光学透镜的激光波束照射区域与所述光学透镜的外周之间存在的激光波束非照射部分，对用于求出所述光学透镜的平均温度或者用于求出所述光学透镜的平均温度以及面内的温度分布的温度信号进行测定。

2.根据权利要求1所述的透镜单元，其特征在于，

在通过所述光学透镜的中心点的弦上的两端部的各个中，配置了至少1个所述温度检测器。

3.根据权利要求1所述的透镜单元，其特征在于，

在通过所述光学透镜的中心点的正交的2根弦中的一根弦的两端部的各个以及另一根弦的两端部的各个中，配置了至少1个所述温度检测器。

4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的透镜单元，其特征在于，

在配置于激光波束入射部的所述光学透镜中配置有所述温度检测器。

5.根据权利要求1~3中的任意一项所述的透镜单元，其特征在于，

所述温度检测器配置于所述光学透镜的与外部气体接触的面以外的面。

6.一种激光加工装置，具备：

激光振荡器；

电流镜，使从所述激光振荡器输出的激光波束偏转；

电流扫描器，驱动所述电流镜；

透镜单元，具有光学透镜、保持所述光学透镜的镜筒、以及设置于在所述光学透镜的激光波束照射区域与所述光学透镜的外周之间存在的激光波束非照射部分并对用于求出所述光学透镜的平均温度或者用于求出所述光学透镜的平均温度以及面内的温度分布的温度信号进行测定的多个温度检测器，所述透镜单元朝向对象物聚光照射通过所述电流镜偏转并入射的所述激光波束；

XY平台，载置所述对象物并在水平面内移动；

电流驱动器，驱动所述电流扫描器；

控制装置，控制所述激光振荡器、所述电流驱动器以及所述XY平台；以及

信号线，将所述温度检测器连接到所述控制装置，其中，

所述控制装置根据由所述多个温度检测器测定的温度信号，求出所述光学透镜的上升温度的平均值或者求出所述光学透镜的上升温度的平均值以及面内的温度分布，并根据所得到的结果，校正所述激光波束的聚光点位置。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

在通过所述光学透镜的中心点的弦上的两端部的各个中，配置了至少1个所述温度检测器。

8.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述多个温度检测器是第1温度检测器、第2温度检测器、第3温度检测器以及第4温度检测器这4个，

在通过所述光学透镜的中心点的相互正交的2根弦中的一根弦的两端部配置了所述第1温度检测器和所述第2温度检测器，在另一根弦的两端部配置了所述第3温度检测器和所述第4温度检测器，

所述控制装置根据由所述多个温度检测器测定的所有温度信号而求出所述光学透镜的上升温度的平均值，根据所述第1温度检测器和所述第2温度检测器的所述温度信号而求出所述光学透镜中的X方向的温度分布，根据所述第3温度检测器和所述第4温度检测器的所述温度信号而求出所述光学透镜中的Y方向的温度分布，并根据所得到的各结果，校正激光波束的聚光点位置。

9.根据权利要求6~8中的任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

由所述控制装置经由所述电流驱动器来控制所述电流扫描器，校正所述激光波束的聚光点位置。