[发明专利]超声波喷嘴排风装置有效
| 申请号： | 201210448427.9 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103801478A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 童宇波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体设备领域，具体地说是一种超声波喷嘴排风装置。包括排风罩组件及排风管路，其中排风罩组件安装在超声波喷嘴上，所述排风罩组件通过排风管路与设备的排风处连接。所述排风罩组件包括排风罩及卡套接头，其中排风罩套设于超声波喷嘴上，所述超声波喷嘴容置在排风罩内，所述排风罩的下端为敞开式，上端设有两个卡套接头，所述卡套接头位于超声波喷嘴两侧、并对称设置，所述两个卡套接头与排风管路连接。本发明不接触任何化学药剂，具有无能耗、无噪声、寿命长、无润滑、无化学污染等优点，特别适用于全自动运转设备、真空、超净等特殊环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 喷嘴 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波喷嘴排风装置，其特征在于：包括排风罩组件(4)及排风管路，其中排风罩组件(4)安装在超声波喷嘴(5)上，所述排风罩组件(4)通过排风管路与设备的排风处连接。
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