[发明专利]一种低能电子束装置在审
| 申请号： | 201210439555.7 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103811244A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张华顺;赵涛 | 申请（专利权）人： | 北京高能科迪科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J33/00 | 分类号： | H01J33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100088 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种结构简单、操作方便的极低能、大面积、小散角、大动力学范围可调的极小束流电子束装置，包括依次设置的带栅极和引出极的电子枪、第一单电位透镜、第二单电位透镜和两个栅网；两个栅网之间形成减速间隙；所述第一和第二单电位透镜之间设有导向偏转板，第一单电位透镜在两对偏转板之间聚焦成像，所述第二单电位透镜的焦点位于该成像处。本发明的低能电子束装置，在整个飞行路程中束始终保持在高能量状态，从而避免了极低能量束在外磁场干扰下的严重偏移和各种二次效应的影响；此外，当能量改变时，只需调节能量值，输出的总是平行束，不仅调节简便，而且大大提高了装置的重复性和可操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低能 电子束 装置 | ||
【主权项】：
一种低能电子束装置，其特征在于：包括依次设置的带栅极和引出极的电子枪、第一单电位透镜、第二单电位透镜和两个栅网；两个栅网之间形成减速间隙；所述第一和第二单电位透镜之间设有导向偏转板，第一单电位透镜在两对偏转板之间聚焦成像，所述第二单电位透镜的焦点位于该成像处。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京高能科迪科技有限公司，未经北京高能科迪科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210439555.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种闭环控制淋浴枪的方法
- 下一篇：滤波器芯片元件及其制备方法
