[发明专利]一种低能电子束装置在审
| 申请号： | 201210439555.7 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103811244A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张华顺;赵涛 | 申请（专利权）人： | 北京高能科迪科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J33/00 | 分类号： | H01J33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100088 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低能 电子束 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种低能电子束装置，其特征在于：包括依次设置的带栅极和引出极的电子枪、第一单电位透镜、第二单电位透镜和两个栅网；两个栅网之间形成减速间隙；所述第一和第二单电位透镜之间设有导向偏转板，第一单电位透镜在两对偏转板之间聚焦成像，所述第二单电位透镜的焦点位于该成像处。
2.根据权利要求1所述的一种低能电子束装置，其特征在于：电子束在整个装置中基本飞行于高能量状态，只在接近出口处使束降低到所需的低能。
3.根据权利要求1所述的一种低能电子束装置，其特征在于：用栅网屏蔽减速间隙的电场，从而使装置能在各种能量下不需调节任何参数保持输出平行束。
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