[发明专利]一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法

摘要

本发明提供一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法。通过制作切割辅助装置、安装、固定、振动、激光切割等步骤减少挂渣，改善切口处的锥度问题，从而提高摆片激光切割质量的方法。本发明通过辅助装置实现精确定位，并且可以在激光切割摆片时加入牺牲片，使未被辅助气体带走的残渣粘附在牺牲片上，能消除摆片切缝附近的挂渣缺陷，同时改善玻璃表面对激光的散射等造成的切口处的锥度；本发明通过在激光切割的同时加入振动，使激光焦点在摆片厚度内上下移动，改善了因激光能量在焦点的集中造成的摆片厚度方向的能量不均匀，达到了减少切缝锥度、提高摆片结构加工精度和双面图形尺寸一致性的目的，使加工合格率提高10％以上。

主权项

一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于通过以下步骤实现：第一步，制作切割辅助装置，切割辅助装置包括本体(1)、支撑环(2)、定位孔(3)、紧固螺丝(4)、垫片(5)和基准标记线(6)，支撑环(2)为环形台阶结构，形成上、下两个表面，其中台阶上表面(12)与本体(1)上表面等高，台阶下表面(13)为圆环，在支撑环(2)外侧的本体上加工定位孔(3)和基准标记线(6)，在支撑环(2)外侧的本体上安装紧固螺丝(4)和垫片(5)；第二步，将待加工的摆片安装在切割辅助装置中，将牺牲片和摆片坯料放置在支撑环(2)上，使摆片坯料夹在上下牺牲片之间，利用支撑环(2)周向定位摆片坯料和牺牲片，利用支撑环(2)的台阶下表面支撑摆片坯料和牺牲片，利用紧固螺丝(4)和垫片(5)使摆片坯料和牺牲片紧密贴合；第三步，将安装了待加工摆片的切割辅助装置(1)安装在激光机工作台上事先安装的振动装置(7)上，通过定位孔(3)将切割辅助装置(1)定位在振动装置(7)上，并利用切割辅助装置(1)的基准标记线(6)使切割辅助装置(1)与激光机对准，调整激光机激光头高度使激光焦点位于摆片坯料的上表面；第四步，开启工作台上的振动装置(7)，使切割辅助装置(1)连同待加工摆片沿摆片厚度的方向进行振动，使激光焦点在摆片厚度内以一定的频率移动；第五步，激光切割，激光切割待加工的摆片，切割程序按照所需的摆片结构进行；第六步，激光切割完成后，关闭振动装置(7)，将切割辅助装置(1)从激光机工作台上取下，然后将加工好的摆片和牺牲片从切割辅助装置(1)中取出。