[发明专利]保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置无效
| 申请号： | 201210411599.9 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102888650A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 甘新式 | 申请（专利权）人： | 嘉兴嘉晶电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 314500 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明所设计的一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，它主要包括陶瓷坩埚，在陶瓷坩埚外部包裹设有顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板，在陶瓷坩埚侧边设有石墨护板，石墨护板与陶瓷坩埚紧贴设置，在陶瓷坩埚底部设有热交换台，热交换台设有在立柱上，立柱穿过底部隔热板，起支撑固定作用，在石墨护板外侧设有侧面加热器，在陶瓷坩埚顶部上空设有顶部加热器，在陶瓷坩埚顶面设有坩埚盖板，在石墨护板与侧面加热器之间设有坩埚保温板，坩埚保温板与石墨护板紧贴设置，坩埚保温板固定在支撑架上，支撑架穿过底部隔热板与电动机连接，电动机通过支撑板带动坩埚保温板上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 界面 水平 多晶 铸锭 坩埚 保温 装置 | ||
【主权项】：
一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，它主要包括陶瓷坩埚，其特征是在陶瓷坩埚外部包裹设有顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板，在陶瓷坩埚侧边设有石墨护板，石墨护板与陶瓷坩埚紧贴设置，在陶瓷坩埚底部设有热交换台，热交换台设有在立柱上，立柱穿过底部隔热板，起支撑固定作用，在石墨护板外侧设有侧面加热器，在陶瓷坩埚顶部上空设有顶部加热器，在陶瓷坩埚顶面设有坩埚盖板。
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