[发明专利]保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置

权利要求书

1.一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，它主要包括陶瓷坩埚，其特征是在陶瓷坩埚外部包裹设有顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板，在陶瓷坩埚侧边设有石墨护板，石墨护板与陶瓷坩埚紧贴设置，在陶瓷坩埚底部设有热交换台，热交换台设有在立柱上，立柱穿过底部隔热板，起支撑固定作用，在石墨护板外侧设有侧面加热器，在陶瓷坩埚顶部上空设有顶部加热器，在陶瓷坩埚顶面设有坩埚盖板。

2.根据权利要求1所述的保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，其特征是所述的侧面加热器与顶部加热器连接，顶部加热器固定在顶部隔热板上。

3.根据权利要求1所述的保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，其特征是在石墨护板与侧面加热器之间设有坩埚保温板，坩埚保温板与石墨护板紧贴设置，坩埚保温板固定在支撑架上，支撑架穿过底部隔热板与电动机连接，电动机通过支撑板带动坩埚保温板上下移动。

4.根据权利要求3所述的保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，其特征是当坩埚保温板处于最下方时，坩埚保温板顶部与陶瓷坩埚底部持平。