[发明专利]一种钌及钌合金靶材的加工方法无效

专利信息
申请号: 201210411249.2 申请日: 2012-10-25
公开(公告)号: CN102922231A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 王传军;管伟明;张昆华;杨杰;闻明;毕珺;谭志龙;陈松;张俊敏;李艳琼;程其兵 申请(专利权)人: 昆明贵金属研究所
主分类号: B23P15/00 分类号: B23P15/00
代理公司: 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 代理人: 赛晓刚
地址: 650106 云南省昆明市高新*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种钌及钌合金靶材的加工方法,包括:提供钌及钌合金靶材坯料;对所述的钌及钌合金靶材坯料进行车削,所述车削采用HRC大于70的刀具,所述车削时加工的转速为50-200转/分钟,所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm;对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削,所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm,所述磨削加工时砂轮的线速度为20-45米/秒;对磨削后的靶材进行超声清洗。本发明提供的钌及钌合金靶材的加工方法,减少了崩边、掉块等现象的发生,减少了应力层、避免了微裂纹的产生,使靶材的表面粗糙度较低,同时具有较高的加工效率。
搜索关键词: 一种 合金 加工 方法
【主权项】:
一种钌及钌合金靶材的加工方法,其特征在于含有以下工艺步骤:制备钌及钌合金靶材坯料;对钌及钌合金靶材坯料进行车削,对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削,对磨削后的靶材进行超声清洗,所述的钌及钌合金靶材坯料为采用粉末冶金方法制备而成,所述车削采用HRC大于70的刀具,所述车削时加工的转速为50‑200转/分钟,所述车削时的进刀量为0.1‑0.5mm;所述磨削时的进刀量0.005‑0.02mm,所述磨削的砂轮线速度为20‑45米/秒。
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