[发明专利]一种钌及钌合金靶材的加工方法无效
申请号: | 201210411249.2 | 申请日: | 2012-10-25 |
公开(公告)号: | CN102922231A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 王传军;管伟明;张昆华;杨杰;闻明;毕珺;谭志龙;陈松;张俊敏;李艳琼;程其兵 | 申请(专利权)人: | 昆明贵金属研究所 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00 |
代理公司: | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人: | 赛晓刚 |
地址: | 650106 云南省昆明市高新*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种钌及钌合金靶材的加工方法,包括:提供钌及钌合金靶材坯料;对所述的钌及钌合金靶材坯料进行车削,所述车削采用HRC大于70的刀具,所述车削时加工的转速为50-200转/分钟,所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm;对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削,所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm,所述磨削加工时砂轮的线速度为20-45米/秒;对磨削后的靶材进行超声清洗。本发明提供的钌及钌合金靶材的加工方法,减少了崩边、掉块等现象的发生,减少了应力层、避免了微裂纹的产生,使靶材的表面粗糙度较低,同时具有较高的加工效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 合金 加工 方法 | ||
【主权项】:
一种钌及钌合金靶材的加工方法,其特征在于含有以下工艺步骤:制备钌及钌合金靶材坯料;对钌及钌合金靶材坯料进行车削,对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削,对磨削后的靶材进行超声清洗,所述的钌及钌合金靶材坯料为采用粉末冶金方法制备而成,所述车削采用HRC大于70的刀具,所述车削时加工的转速为50‑200转/分钟,所述车削时的进刀量为0.1‑0.5mm;所述磨削时的进刀量0.005‑0.02mm,所述磨削的砂轮线速度为20‑45米/秒。
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