[发明专利]一种钌及钌合金靶材的加工方法

权利要求书

1.一种钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于含有以下工艺步骤：制备钌及钌合金靶材坯料；对钌及钌合金靶材坯料进行车削，对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，对磨削后的靶材进行超声清洗，

所述的钌及钌合金靶材坯料为采用粉末冶金方法制备而成，

所述车削采用HRC大于70的刀具，所述车削时加工的转速为50-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；

所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-45米/秒。 

2.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述粉末冶金方法包括真空热压烧结、热等静压烧结、放电等离子体烧结或直流加热加压烧结。

3.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，特征在于：所述车削采用HRC大于70的刀具为硬质合金刀具或立方氮化硼刀具，所述的硬质合金刀具为WC基硬质合金刀具，所述的车削采用的刀具参数为：刀具前角的范围为0-10 ^o，后角的范围为0-8 ^o，主偏角范围为45-95 ^o，刀尖修圆半径为0.2-1.2mm。

4.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述的磨削采用氧化铝砂轮或者金刚石砂轮或者立方氮化硼砂轮。

5.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：还包括：对经磨削加工的样品进行布轮抛光。 

6.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为100-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.2-0.4mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用氧化铝砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-40米/秒。

7.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50-100转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用金刚石砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.01mm，所述磨削的砂轮线速度为20-30米/秒。

8.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：对所述的钌及钌合金靶材坯料进行车削，所述车削采用HRC大于70立方氮化硼刀具，所述车削时加工的转速为50-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用立方氮化硼砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-45米/秒。

9.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50-100转/分钟，所述车削时的进刀量为0.01mm、 0.2或0.4mm；所述的磨削采用氧化铝砂轮，所述磨削的砂轮线速度为30-40米/秒。

10.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50转/分钟，所述磨削时的进刀量 0.01mm，所述磨削的砂轮线速度为45米/秒。