[发明专利]用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具

摘要

本发明涉及镀膜装置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。本发明采取如下技术方案：包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。所述一组以上的铝板之间距离相同。采用如上技术方案的本发明，具有如下有益效果：待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去，固定即稳定，保证多组导电玻璃放置的一致性，保证非晶硅薄膜厚度的均一性，同时节省操作时间，提高产品质量。

主权项

用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮（8）。