[发明专利]用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具

权利要求书

1.用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮（8）。

2.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述一组以上的铝板之间距离相同。

3.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述一个以上的相邻分布的铝板的下方有电极固定条（7），所述一个以上的相邻分布的铝板正负极交替分布。

4.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，还包含将一个以上的相邻分布的铝板包围起来的上板（2）、两侧的夹具侧板（3）、后板（5）。

5.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述夹具下方有轮子部分（4）。

6.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述固定滚轮（8）为陶瓷结构。

7.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述同一组高度相同的固定滚轮（8）与各自所依附的铝板的间距一致。