[发明专利]干涉式膜厚计

摘要

本发明提供一种能够在在线式测量中进行稳定的测量的干涉式膜厚计。该干涉式膜厚计设置有焦点位置扫描部(7)，该焦点位置扫描部(7)使作为从投受光探头(5)照射的光的焦点位置、且入射至投受光探头(5)的光的焦点位置的共同焦点位置在规定范围内进行扫描。运算部(13)具备：分光数据获取部(15)，其获取投受光探头(5)所接收的光的分光光谱数据；能谱算出部(17)，其基于分光光谱数据来计算能谱；膜厚算出部(19)，其基于能谱的数据来计算测量对象膜(23)的膜厚；和数据提取部(21)，其针对分光光谱数据或能谱的数据或者这两者设置阈值，对阈值以上的数据进行提取。膜厚算出部(19)输出与数据提取部(21)所提取的数据对应的膜厚数据。

主权项

一种干涉式膜厚计，具备：投光部，其将来自光源的光照射至测量对象膜；受光部，其对来自所述测量对象膜的反射光或者透射光进行受光；焦点位置扫描部，其使共同焦点位置在规定范围内进行扫描，该共同焦点位置是被所述投光部照射的光的焦点位置、并且也是入射至所述受光部的光的焦点位置，分光数据获取部，其获取所述受光部所接收的光的分光光谱数据；能谱算出部，其基于所述分光光谱数据来计算能谱；膜厚算出部，其基于所述能谱的数据来计算所述测量对象膜的膜厚；和数据提取部，其针对所述分光光谱数据或者所述能谱的数据或者所述分光光谱数据和所述能谱的数据这两者设置阈值，提取所述阈值以上的数据，所述膜厚算出部输出与所述数据提取部所提取的数据对应的膜厚数据。