[发明专利]一种耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术

摘要

本发明公开了一种耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术。本发明利用中频非平衡磁控溅射技术，改变N₂的流量和通入时间，从而制备CrAl/CrAlN多层薄膜。本发明的多层镀层可作为防护耐磨涂层应用于冶金、化工、能源、海洋开发等领域的金属运动部件上。

主权项

一种耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于操作步骤为：A、活化清洗表面：将光滑、洁净的金属基底置于非平衡磁控溅射镀膜机的真空腔体内后抽真空至10^‑3 Pa以下，通入氩气作为离化气体，基底施加脉冲偏压，辉光放电产生等离子体，对基底表面进行等离子体活化清洗；B、 过渡层制备：清洗完毕后，利用非平衡磁控溅射的方法首先制备铬铝过渡层，选用铬和铝组合材料作为溅射靶材，以氩气作为溅射气体，基体附加脉冲负偏压，沉积一定厚度后关闭； C、 利用非平衡反应磁控溅射的方法制备CrAl/CrAlN涂层材料：溅射靶材选用同B步骤，其中制备每层CrAl层与CrAlN层时的反应气源分别是： Ar与Ar/N₂，通过改变N₂的通入和通入时间，实现CrAl/CrAlN多层结构交替以及周期变化，通入氮气气源和惰性混合气体作为反应气源，打开中频电源和脉冲偏压电源，沉积涂层，完毕后冷却至温度小于40℃，释放真空取出金属基底，此时在金属基底形成CrAl/CrAlN多层薄膜。