[发明专利]一种耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术

权利要求书

1.一种耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于操作步骤为：

A、活化清洗表面：将光滑、洁净的金属基底置于非平衡磁控溅射镀膜机的真空腔体内后抽真空至10^-3 Pa以下，通入氩气作为离化气体，基底施加脉冲偏压，辉光放电产生等离子体，对基底表面进行等离子体活化清洗；

B、 过渡层制备：清洗完毕后，利用非平衡磁控溅射的方法首先制备铬铝过渡层，选用铬和铝组合材料作为溅射靶材，以氩气作为溅射气体，基体附加脉冲负偏压，沉积一定厚度后关闭； 

C、 利用非平衡反应磁控溅射的方法制备CrAl/CrAlN涂层材料：溅射靶材选用同B步骤，其中制备每层CrAl层与CrAlN层时的反应气源分别是： Ar与Ar/N₂，通过改变N₂的通入和通入时间，实现CrAl/CrAlN多层结构交替以及周期变化，通入氮气气源和惰性混合气体作为反应气源，打开中频电源和脉冲偏压电源，沉积涂层，完毕后冷却至温度小于40℃，释放真空取出金属基底，此时在金属基底形成CrAl/CrAlN多层薄膜。

2.如权利要求1所述的耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于：在步骤A中，金属基底可选自不锈钢、钢或钛合金。

3.如权利要求1所述的耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于：在步骤A中，等离子体活化工艺参数范围为：气压0.2～3.0 Pa，脉冲偏压-100～-1200V。

4.如权利要求1所述的耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于：在步骤B和C中，铬和铝组合靶材料可为单独铬块和铝块拼接而成，也可为铬铝合金材料，铬/铝原子比为1：4～4：1。

5.如权利要求1所述的耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于：在步骤B中，过渡层制备工艺参数范围为：腔体气压0.2～1.0Pa，溅射电流1～25 A，脉冲偏压-50～-1000V，过渡层厚度30～500 nm。

6.如权利要求1所述的耐腐蚀硬质防护涂层的制备技术，其特征在于：在步骤C中，工艺参数范围为：腔体气压0.2～2.0Pa，Ar/N₂气体体积流量比6：1～1：6，脉冲偏压-100～-1000V，溅射电流1～25 A，调制周期为5～1000 nm。