[发明专利]压印设备和使用该压印设备的物品制造方法有效
| 申请号： | 201210387601.3 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN103048879A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 林达也;村上洋介;长谷川敬恭;鸟居弘稔;田中悠辅 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y10/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李晓芳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 设备 使用 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂的压印设备，所述压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和该加热机构，以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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