[发明专利]压印设备和使用该压印设备的物品制造方法

权利要求书

1.一种将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂的压印设备，所述压印设备包括：

形状校正机构，被配置为向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形；

加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和

控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和该加热机构，以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

2.根据权利要求1所述的压印设备，还包括：

检测单元，被配置为检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底上的多个标记，

其中该控制单元基于由该检测单元检测的结果获得该信息。

3.根据权利要求1所述的压印设备，还包括：

检测单元，被配置为检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底上的多个标记，

其中该检测单元测量形成在该模具上的至少四个标记和形成在该衬底上的至少四个标记。

4.根据权利要求2所述的压印设备，其中该检测单元测量形成在该模具上的至少四个标记和形成在该衬底上的至少四个标记。

5.根据权利要求1所述的压印设备，其中该控制单元控制该加热机构以便在该衬底侧图案区域上形成温度分布。

6.根据权利要求1所述的压印设备，其中该加热机构能够仅仅加热该衬底的部分区域，并且该控制单元基于获得的信息确定要由该加热机构加热的区域。

7.根据权利要求1所述的压印设备，其中该加热机构包括光源并且通过利用从该光源发射的光照射该衬底来加热该衬底侧图案区域。

8.根据权利要求7所述的压印设备，其中该树脂是由紫外光可固化的树脂，并且使用该加热机构照射到该衬底上的光的波长在从400nm到2000nm的范围中。

9.根据权利要求1所述的压印设备，其中该控制单元在使得该衬底上的树脂与该模具接触的状态下控制该加热机构。

10.根据权利要求1所述的压印设备，其中在由该形状校正机构使形成在该模具上的图案区域变形之后或在由该形状校正机构使形成在该模具上的图案区域变形期间，该控制单元使得该加热机构使该衬底侧图案区域变形。

11.一种用于制造装置的装置制造方法，该方法包括：

使用压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂；以及

蚀刻其上已经形成转印的图案的所述衬底，

其中该压印设备包括：

形状校正机构，被配置为向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形；

加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和

控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和加热机构，以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

12.一种用于将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂的压印方法，所述方法包括：

向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形；

加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和

在使形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域变形的状态下，固化该衬底上的树脂。

13.根据权利要求12所述的压印方法，其中所述加热在所述力施加之前执行或者与所述力施加同时执行。

14.如权利要求12所述的压印方法，还包括：

使得该模具与该衬底上的树脂接触，

其中所述加热在使得该模具与该衬底上的树脂接触的状态下执行。

15.如权利要求13所述的压印方法，还包括：

使得该模具与该衬底上的树脂接触，

其中所述加热在使得该模具与该衬底上的树脂接触的状态下执行。

16.如权利要求12所述的压印方法，还包括：

检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底侧图案区域上的多个标记。