[发明专利]MEMS器件、其条带测试方法及其测试条带有效
| 申请号： | 201210385087.X | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN103033699B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | M·阿佐帕迪;C·卡奇雅;S·波兹 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;意法半导体(马耳他)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种MEMS器件、其条带测试方法、及其测试条带。更具体地，公开了一种用于测试MEMS器件(1)的条带(10)的方法，该MEMS器件(1)至少包括耦合至共同的基板(3)的内部表面(3a)并且由保护材料(5)覆盖的半导体材料的相应裸片(6；7)；该方法构思了检测由MEMS器件(1)响应于至少一个测试激励而生成的输出值；以及在检测步骤之前，至少部分地分隔条带(10)中的邻接的MEMS器件(1)。该分隔步骤包括在邻接的MEMS器件(1)之间限定分隔沟槽(14)，该分隔沟槽(14)延伸穿过保护材料(5)的整个厚度并且穿过从基板(3)的内部表面(3a)开始的、基板(3)的表面部分。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 条带 测试 方法 及其 | ||
【主权项】：
一种用于测试MEMS器件(1)的条带(10)的方法，所述MEMS器件(1)至少包括耦合至共同的基板(3)的内部表面(3a)并且由保护材料(5)覆盖的半导体材料的相应裸片(6；7)；所述方法包括：检测由所述MEMS器件(1)响应于至少一个测试激励而生成的输出值；以及在检测步骤之前，至少部分地分隔所述条带(10)中的邻接的MEMS器件(1)，其特征在于，分隔步骤包括在所述邻接的MEMS器件(1)之间限定分隔沟槽(14)，所述分隔沟槽(14)延伸穿过所述保护材料(5)的整个厚度并且穿过所述基板(3)的、从其所述内部表面(3a)开始的表面部分，其中所述基板(3)的所述表面部分承载所述邻接的MEMS器件(1)之间的电连接(32；34)；并且所述分隔步骤包括经由移除所述基板(3)的所述表面部分电绝缘所述邻接的MEMS器件(1)，其中所述邻接的MEMS器件(1)之间的所述电连接包括连接至设计用于镀覆操作的共同镀覆条(34)的镀覆迹线(32)，所述镀覆条(34)限定所述邻接的MEMS器件(1)之间的边界；并且其中所述分隔步骤包括移除所述镀覆条(34)和连接至所述镀覆条(34)的所述镀覆迹线(32)的至少部分。
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