[发明专利]研磨液手臂在审
| 申请号： | 201210366048.5 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103692359A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王坚;杨贵璞;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨液手臂，包括：壳体、固定轴、传感器、转动轴、被侦测件及控制器。壳体的一端与转动轴固定连接，固定轴开设有收容腔，传感器设置于收容腔的底部，转动轴收容于固定轴的收容腔并能够绕固定轴转动，被侦测件设置于转动轴的底部，并与收容腔的底部相对，被侦测件能够随着转动轴的转动而移至传感器的上面从而被传感器检测到，如果被侦测件被传感器检测到，则研磨液手臂位于设定位置，如果被侦测件没有被传感器检测到，则研磨液手臂没有位于设定位置，传感器发出一信号至控制器，控制器接收该信号后发出报警信号。本发明通过设置被侦测件和传感器，从而可以准确检测研磨液手臂是否在设定位置。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 手臂 | ||
【主权项】：
一种研磨液手臂，其特征在于，包括：壳体、固定轴、传感器、转动轴、被侦测件及控制器，其中，壳体的一端与转动轴固定连接，固定轴开设有收容腔，传感器设置于收容腔的底部，转动轴收容于固定轴的收容腔并能够绕固定轴转动，被侦测件设置于转动轴的底部，并与收容腔的底部相对，被侦测件能够随着转动轴的转动而移至传感器的上面从而被传感器检测到，如果被侦测件被传感器检测到，则研磨液手臂位于设定位置，如果被侦测件没有被传感器检测到，则研磨液手臂没有位于设定位置，传感器发出一信号至控制器，控制器接收该信号后发出报警信号。
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