[发明专利]研磨液手臂

权利要求书

1.一种研磨液手臂，其特征在于，包括：壳体、固定轴、传感器、转动轴、被侦测件及控制器，其中，壳体的一端与转动轴固定连接，固定轴开设有收容腔，传感器设置于收容腔的底部，转动轴收容于固定轴的收容腔并能够绕固定轴转动，被侦测件设置于转动轴的底部，并与收容腔的底部相对，被侦测件能够随着转动轴的转动而移至传感器的上面从而被传感器检测到，如果被侦测件被传感器检测到，则研磨液手臂位于设定位置，如果被侦测件没有被传感器检测到，则研磨液手臂没有位于设定位置，传感器发出一信号至控制器，控制器接收该信号后发出报警信号。

2.根据权利要求1所述的研磨液手臂，其特征在于，所述转动轴的侧壁沿其径向方向凸伸出止挡块，所述止挡块与被侦测件在转动轴的同一径向上，固定轴开设有用以收容止挡块的容置槽，所述容置槽与收容腔相连通，所述容置槽具有第一端壁和第二端壁，所述第一端壁和第二端壁分别位于容置槽相对的两端。

3.根据权利要求1所述的研磨液手臂，其特征在于，所述被侦测件为一金属块，所述传感器为一接近开关传感器。

4.根据权利要求1所述的研磨液手臂，其特征在于，还包括至少一研磨液供应管，所述研磨液供应管收容于固定轴、转动轴和壳体，所述研磨液供应管的一端从壳体的另一端穿出，所述研磨液供应管的另一端从固定轴的底部穿出。

5.根据权利要求4所述的研磨液手臂，其特征在于，从固定轴的底部穿出的所述研磨液供应管的另一端与一三通阀相连接。

6.根据权利要求1所述的研磨液手臂，其特征在于，还包括一去离子水供应管，所述去离子水供应管收容于固定轴、转动轴和壳体，所述去离子水供应管的一端收容于壳体内并开设有数个喷嘴，壳体的底部开设有一开口，所述去离子水供应管的数个喷嘴通过壳体底部的开口向外喷射去离子水，所述去离子水供应管的另一端从固定轴的底部穿出。

7.根据权利要求6所述的研磨液手臂，其特征在于，从固定轴的底部穿出的所述去离子水供应管的另一端与一两通阀相连接。