[发明专利]切割/芯片接合薄膜无效
申请号: | 201210361018.5 | 申请日: | 2008-10-30 |
公开(公告)号: | CN102911618A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 神谷克彦;松村健;村田修平 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J133/08;H01L21/68 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王海川;穆德骏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供即使在工件为薄型的情况下将工件切割时的保持力与将通过切割得到的芯片状工件和该芯片接合薄膜一体地剥离时的剥离性的平衡特性也优良的切割/芯片接合薄膜。本发明的切割/芯片接合薄膜,具备在基材上具有粘合剂层的切割薄膜和设置在该粘合剂层上的芯片接合薄膜,其特征在于,所述粘合剂层含有包含作为主单体的丙烯酸酯、相对于丙烯酸酯含量在10~30摩尔%范围内的含羟基单体和相对于含羟基单体含量在70~90摩尔%范围内的具有自由基反应性碳碳双键的异氰酸酯化合物而构成的聚合物,所述芯片接合薄膜含有环氧树脂而构成。 | ||
搜索关键词: | 切割 芯片 接合 薄膜 | ||
【主权项】:
一种切割/芯片接合薄膜,具备在基材上具有粘合剂层的切割薄膜和设置在该粘合剂层上的芯片接合薄膜,其特征在于,所述粘合剂层含有包含作为主单体的丙烯酸酯、相对于丙烯酸酯含量在10~30摩尔%范围内的含羟基单体和相对于含羟基单体含量在70~90摩尔%范围内的具有自由基反应性碳碳双键的异氰酸酯化合物而构成的聚合物,所述丙烯酸酯为CH2=CHCOOR,式中,R为碳原子数6~10的烷基,所述芯片接合薄膜含有环氧树脂和丙烯酸类树脂而构成。
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