[发明专利]清洁气体送风单元有效
| 申请号： | 201210353718.X | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103008319A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 中尾多通夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社大福 |
| 主分类号： | B08B17/02 | 分类号： | B08B17/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;杨楷 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。在相对于基板收纳器（K）能够装卸地安装的清洁气体送风单元（J）中，基板收纳器（K）是由保管装置保管的收纳器，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元（F）和一对遮蔽板（10），该风扇过滤器单元（F）将基板收纳器（K）的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板（10）覆盖基板收纳器（K）的四个侧面中除了清洁气体送风面以及排气用面之外的两个侧面。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 气体 送风 单元 | ||
【主权项】：
一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于，上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备：收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上述清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。
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