[发明专利]清洁气体送风单元

说明书

技术领域

本发明涉及一种相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装的清洁气体送风单元。

背景技术

上述这种清洁气体送风单元例如安装在由保管装置保管的基板收纳器上，抑制尘埃附着在基板收纳器中收纳的基板上。

即，基板收纳器以收纳了在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板的状态收纳在保管装置的收纳部中。并且在相对于收纳在基板收纳器中的基板进行蚀刻及清洗等诸多处理时，由保管装置所具备的运送装置将基板收纳器从收纳部向基板运出运入部运送，相对于从基板收纳器中取出的基板进行诸多处理。而且，将实施了处理后的基板再次收纳在基板收纳器中，由运送装置将收纳了基板的基板收纳器从基板运入运出部向收纳部运送。

这样，在由保管装置保管着基板收纳器的状态下进行相对于收纳在基板收纳器中的基板的处理。此时，由于尘埃有可能附着在由基板收纳器保持的基板上，所以在基板收纳器上安装清洁气体送风单元。

作为清洁气体送风单元的以往例子，清洁气体送风单元作为具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的框体构成，并相对于基板收纳器能够装卸地安装（例如参照专利文献1）。

在该专利文献1中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。该清洁气体送风单元以位于成为清洁气体送风面的侧面的状态安装在基板收纳器上。

作为清洁气体送风单元其它的以往例子，清洁气体送风单元构成为将具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的送风部以直立姿势设置在载置基板收纳器的板状的载置部的一端部的形态（例如参照专利文献2）。

在该专利文献2中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元的送风部将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。

也就是说，基板收纳器以使成为清洁气体送风面的侧面与清洁气体送风单元的送风部对向的状态载置在清洁气体送风单元的载置部上。

【专利文献1】日本国特开2010-89835号公报，

【专利文献2】日本国特开2011-91270号公报。

基板收纳器每当经过适当期间等要进行清洗等适时清洗，此时，清洁气体送风单元与基板收纳器分离。

即，在对基板收纳器进行清洗的情况下，一般是使用水溶液等清洗用的液体进行清洗。由于在清洁气体送风单元上设有具备电装零部件的风扇过滤器单元，所以为了抑制清洁气体送风单元被清洗用的液体打湿，要使清洁气体送风单元与基板收纳器分离。

这样，基板收纳器在分离了清洁气体送风单元后的状态下进行适时清洗。此时，上述专利文献1以及专利文献2所记载的基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以有可能难以适当进行基板收纳器的清洗。

也就是说，横躺姿势的方筒状基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以能够使来自清洁气体送风单元的清洁气体以抑制了向外部泄漏的状态从清洁气体送风面适当地朝向排气用面流动。但是，在对基板收纳器进行清洗之际，有可能因被遮蔽的侧面妨碍了清洗用的液体向基板收纳器的内部流动等而难以适当地进行基板收纳器的清洗。

发明内容

本发明是鉴于上述实际状况而提出的，其目的在于提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。