[发明专利]具有多个横向特征的声谐振器有效
| 申请号： | 201210348954.2 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN103001602A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 达利斯·布拉卡;菲尔·尼克尔;克里斯·冯 | 申请（专利权）人： | 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及具有多个横向特征的声谐振器，公开了一种薄膜体声谐振器(FBAR)，其包括在腔体上方堆叠在衬底上的第一电极、堆叠在第一电极上的压电层以及堆叠在压电层上的第二电极。多个横向特征形成在第二电极的表面上，横向结构包括多个台阶结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 横向 特征 谐振器 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声谐振器(FBAR)，其包括：在衬底上且在腔体上方的第一电极；在所述第一电极上的压电层；在所述压电层上的第二电极；在所述第二电极上的多个横向特征，所述多个横向特征包括多个台阶结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司，未经安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210348954.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
