[发明专利]一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法

摘要

本发明公开了一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，包括对矢量数据的存储、栅格化处理、对数据进行重新组合、扫描曝光时按指定规则读取组合后的数据进行曝光。本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的曝光分辨率，在同样的SLM物理网格精度下成倍的提高曝光精度。

主权项

1.一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计算机内存中，通过一定的计算和处理，为矢量数据建立结构；（2）对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理， 栅格化处理的单帧图像大小由空间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格精度和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾斜角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为θ，倾斜角度θ的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的网格精度之比，由公式可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值；（3）通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数据中按行读取数据并进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据。