[发明专利]一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法有效
| 申请号： | 201210345173.8 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102914949A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 张爱明;李显杰;陈勇;陈修涛 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 式无掩膜 光刻 倾斜 slm 曝光 数据处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计算机内存中，通过一定的计算和处理，为矢量数据建立结构；
（2）对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理， 栅格化处理的单帧图像大小由空间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格精度和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾斜角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为θ，倾斜角度θ的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的网格精度之比，由公式可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值；
（3）通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数据中按行读取数据并进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据。
2.根据权利要求1所述的一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于：所述步骤（1）中， 保存在计算机内存中的矢量数据的结构包括有分层、分单元、互相引用。
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