[发明专利]光学零件中高频误差的组合式加工方法

摘要

本发明公开了一种光学零件中高频误差的组合式加工方法，该方法是先利用干涉仪测量待加工光学零件的面形误差，然后进行PSD分析，基于PSD曲线确定中高频误差频率分布特征；再根据预先确定的加工时间和加工精度得到优化后的去除函数模型，并获得去除函数的幅值谱线；根据该幅值谱线获得去除函数的截止频率；如果中高频误差频率分布中存在低于截止频率的可修正中高频误差，则采用磁流变抛光工艺加工；如果中高频误差频率分布中存在高于截止频率的不可修正中高频误差，则采用计算机控制光学表面成形工艺加工。本发明能够充分结合MRF和CCOS各自的技术优势、且实现光学零件全频段误差的高效一致收敛、有效提升光学零件性能。

主权项

一种光学零件中高频误差的组合式加工方法，所述组合式加工方法是先对待加工光学零件进行中高频误差可加工性评估，然后根据评估结果选择性进行下述操作(a)或操作(b)，其中：所述中高频误差可加工性评估包括以下步骤：首先利用干涉仪测量待加工光学零件的面形误差，然后对得到的面形误差进行PSD分析，得到面形误差的PSD曲线，基于PSD曲线确定中高频误差频率分布特征；根据预先确定的加工时间和加工精度对磁流变抛光工具的去除函数进行优化，得到优化后的去除函数模型；对去除函数模型进行频谱分析，得到去除函数的幅值谱线；再根据该幅值谱线获得去除函数的截止频率，并将该截止频率同需要控制的前述中高频误差频率分布进行比较；如果中高频误差频率分布中存在低于截止频率的可修正中高频误差，则转到下述的操作(a)对该可修正中高频误差进行加工；如果中高频误差频率分布中存在高于截止频率的不可修正中高频误差，则转到下述的操作(b)对该不可修正中高频误差进行加工；所述操作(a)是指：采用磁流变抛光工艺加工所述可修正中高频误差，直至满足面形精度要求，停止加工；所述操作(b)是指：采用计算机控制光学表面成形工艺加工所述不可修正中高频误差，直至满足面形精度要求，停止加工。