[发明专利]含氢氟酸处理液的再生方法和再生装置有效
| 申请号： | 201210313938.X | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102965114A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 田中伊佐男;王晓彦 | 申请（专利权）人： | 日本爱纳克株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供含氢氟酸处理液的再生方法和再生装置。本发明的装置包括：贮存使用后的含氢氟酸处理液的贮存槽；测定该贮存槽中的液体中的六氟硅酸的浓度的浓度测定装置；能够静置所收纳的来自贮存槽的液体的析出反应槽；根据由所测定的浓度求出的理论计算量，在析出反应槽中添加规定量的钾盐的水溶液的析出用药液供给部；通过静置并取出上清液、根据需要进行过滤，将析出的不溶性钾盐的悬浊液分离为澄清液和沉淀固形物的固液分离机构；测定该澄清液中的氢氟酸和硝酸的浓度的浓度测定装置；以及根据该浓度测定结果，追加氢氟酸和硝酸的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氟酸 处理 再生 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种含氢氟酸处理液的再生方法，其特征在于，在对用于处理硅基板、玻璃基板或其它含硅材料的含氢氟酸处理液进行再生的方法中，包括以下工序：测定使用后的含氢氟酸处理液中溶解的六氟硅酸离子、四氟硼酸离子或者其它形成不溶性钾盐的离子物种的浓度的工序；根据由所测定的浓度求出的理论计算量，添加钾离子供给物种，使不溶性钾盐析出的工序；将析出后的悬浊液分离为由不溶性钾盐构成的固形物及澄清的含氢氟酸液体的固液分离工序；测定所得澄清的含氢氟酸液体中的氢氟酸、硝酸、盐酸、氟化铵或者其它活性物种的浓度的工序；以及根据该浓度测定结果，追加氢氟酸、硝酸、盐酸、氟化铵或其它活性物种的工序。
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