[发明专利]垂直腔面发射激光器侧面泵浦源及其制作方法无效
| 申请号： | 201210312496.7 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102856790A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 宁永强;张金胜;张金龙;刘云;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/024 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种垂直腔面发射激光器侧面泵浦源及其制作方法，涉及半导体光电子学技术领域。本发明的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，包括内有制冷液体的大通道热沉，热沉的上端有水平安装面，绝缘的串接结构热沉，热沉表面的金属薄膜，金丝引线，以及垂直腔面发射激光器面阵。本发明的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，在不提高电流的情况下增加出光面积，提高了功率，且集成度高，光束质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 侧面 泵浦源 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，包括：内有制冷液体的大通道热沉（1），所述大通道热沉（1）的上端设有水平安装面（6），绝缘热沉（2），以及垂直腔面发射激光器列阵（4）；在所述绝缘热沉（2）内镀制有金属薄膜（3）；所述垂直腔面发射激光器列阵（4）与所述金属薄膜（3）通过金丝引线（5）连接。
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