[发明专利]垂直腔面发射激光器侧面泵浦源及其制作方法

权利要求书

1.垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，包括：

内有制冷液体的大通道热沉（1），所述大通道热沉（1）的上端设有水平安装面（6），绝缘热沉（2），以及垂直腔面发射激光器列阵（4）；

在所述绝缘热沉（2）内镀制有金属薄膜（3）；所述垂直腔面发射激光器列阵（4）与所述金属薄膜（3）通过金丝引线（5）连接。

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，所述的垂直腔面发射激光器列阵（4）为正四面形或者正六角形的单管排列结构。

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，多个所述金属薄膜（3）中间设有间隔，所述金丝引线（5）可在所述金属薄膜（3）的三个边将相邻的所述金属薄膜（3）连接。

4.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，所述大通道热沉（1）的长×宽×高为：30mm×6.8mm×10mm。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，每个垂直腔面发射激光器列阵（4）包括多个发光单元，每个所述发光单元由下至上依次包括： 

下电极（13）；

衬底（7）；

下布拉格反射镜（8）；

有源层（9）；

侧氧化层（10）；

上布拉格反射镜（11）；

上电极（12）。

6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源，其特征在于，

所述下布拉格反射镜（8）和所述上布拉格反射镜（11）可以分别替换为介质反射镜。

7.权利要求1所述的垂直腔面发射激光器侧面泵浦源的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

首先，在大通道热沉（1）的上端水平安装面（6）上，使用导电性好的材料与绝缘热沉（2）紧密结合；

然后，在绝缘热沉（2）的上表面区域，使用蒸镀技术制备金属薄膜（3），用于传导电流；

再然后，在每个固定的区域内蒸镀焊料，将垂直腔面发射激光器列阵（4）与所述金属薄膜（3）焊接； 

最后，在所述金属薄膜（3）三个边打上金丝引线（5），连接相邻的所述金属薄膜（3）。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在将垂直腔面发射激光器列阵（4）与所述金属薄膜（3）焊接的步骤中，所述焊料可以是In或AuSn。