[发明专利]一种提高平行光管分划板安装精度的方法有效
申请号: | 201210312460.9 | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN102853992A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 曹智睿;吴国栋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00;G01M11/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种提高平行光管分划板安装精度的方法,属于光学装校和检测技术领域,涉及的平行光分划板的安装方法。要解决的技术问题是:提供一种高精度的平行光管分划板安装方法。解决技术问题的技术方案:首先,利用标准平面镜和数字干涉仪确定平行光管焦面位置;其次,调整分划板的位置,通过数字干涉仪监视分划板没有分划线的一面与平行光管的焦面重合;第三,测量分划板的厚度,精确平移分划板使其与平行光管的焦面重合,完成安装。本发明方法可以直接安装任意类型分划板,无需进行不同分划板之间的复位,安装精度达到0.02mm,相比已有技术,安装精度提高10倍。本发明方法也可以适用于其它光学系统的焦面目标的安装。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 平行 光管分划板 安装 精度 方法 | ||
【主权项】:
一种提高平行光管分划板安装精度的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤a:将标准平面镜、平行光管和数字干涉仪自左至右依次放置在光学平台上;步骤b:调节标准平面镜和数字干涉仪,形成自准直干涉光路并产生清晰稳定的全孔径干涉条纹;步骤c:将分划板垂直于平行光管光轴插入自准直干涉光路,使具有分划线的一面朝向其左侧的平行光管;步骤d:沿光轴方向平移分划板,使其没有分划线的一面与数字干涉仪的出射光束自准,并产生平直的干涉条纹;步骤e:使用精密测量工具精确测量分划板的厚度Δ,使用精密调节机构将分划板沿光轴向右平移Δ。
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