[发明专利]一种声表面波气体传感器基片无效
| 申请号： | 201210294617.X | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102778509A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 杨保和;郝银召;李明吉;王芳;李翠平 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 廖晓荣 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波气体传感器基片。可用于制作声表面波气体传感器。具有高频、高Q、很好的频率稳定性的特点。不同孔径的多孔类金刚石做为敏感膜有一定选择性，可以保护叉指换能器并有效的避免水蒸气的干扰，组成传感器阵列，可用来检测微量有害气体的种类和含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种声表面波气体传感器基片，其特征在于所述声表面波气体传感器基片自上而下采用多孔类金刚石/叉指换能器/压电薄膜/金刚石结构；声表面波气体传感器基片由：在硅衬底上采用化学气相沉积CVD法制备金刚石膜，然后在金刚石膜上使用物理气相沉积PVD法或化学气相沉积CVD法制备压电薄膜，再在压电薄膜上使用电子束蒸发系统和光刻系统制备叉指换能器，然后在叉指换能器上采用化学气相沉积CVD法制备含氢类金刚石膜，最后采用等离子体刻蚀设备用氢等离子体对类金刚石膜刻蚀纳米孔道，制备成多孔类金刚石膜，而制成。
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