[发明专利]一种高温电加热用的氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体有效
| 申请号： | 201210287536.7 | 申请日： | 2012-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102795868A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 何军舫;房明浩;刘艳改;黄朝晖 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/66 | 分类号： | C04B35/66;C04B41/89 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 101101 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高温电加热用的氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体，由石墨基体、包覆于石墨基体外表面的碳化硼中间层和包覆于碳化硼中间层外的氮化硼表层构成。石墨基体的外形根据电加热设备的需要进行设计加工，石墨基体需要经过高温预处理；碳化硼中间层包覆在石墨基体表面，厚度为0.02～1mm，由化学气相沉积制备得到；氮化硼表层包覆在碳化硼中间层外侧，厚度为0.1～10mm，由化学气相沉积制备得到。这种氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体可以实现2000℃-2800℃的电加热要求，具有发热体电阻率稳定、使用寿命长、温度控制准确和高温环境污染小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 加热 氮化 碳化 石墨 复合 发热 | ||
【主权项】：
一种高温电加热用的氮化硼‑碳化硼‑石墨复合发热体，其特征在于，由石墨基体、包覆于石墨基体外表面的碳化硼中间层和包覆于碳化硼中间层外的氮化硼表层构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，未经北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210287536.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多用一体笔
- 下一篇：一种建材添加复合材料流水线生产设备
