[发明专利]压印装置和物品制造方法有效
| 申请号： | 201210283475.7 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102929099A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 田中悠辅;鸟居弘稔 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 袁玥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压印装置和物品制造方法。该压印装置使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种被配置为使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案的压印装置，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。
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