[发明专利]压印装置和物品制造方法

权利要求书

1.一种被配置为使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案的压印装置，该压印装置包括：

模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；

基板保持单元，被配置为保持该基板；

第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和

控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。

2.根据权利要求1所述的压印装置，进一步包括第二获得单元，被配置为获得关于该模具和基板之间的间隔的信息；以及

其中该控制单元被配置为基于由该第二获得单元获得的关于该模具和基板之间的间隔的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。

3.根据权利要求1所述的压印装置，其中所述关于间隔的信息是通过测量该模具和基板之间的距离获得的值以及在图案区域和压印材料彼此接触的状态下在该模具和基板之间产生的力的值中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中所述关于该图案区域和已经形成在基板上的曝光场之间的形状的差别的信息是形成在该图案区域上的多个标记和形成在该曝光场上的多个标记之间的相对位置的信息。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其中该模具保持单元被配置为包括变形机构，该变形机构被配置为甚至在通过在该模具上施加力而使得该模具不与该压印材料接触的状态下，也能够使该模具的图案区域变形；以及

其中该控制单元被配置为执行以下多个控制中的至少一个：基于所述关于形状的差别的信息对该变形机构的控制以及基于所述关于形状的差别的信息和所述关于间隔的信息对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制。

6.根据权利要求5所述的压印装置，其中该控制单元被配置为，在通过执行对变形机构的控制以及对模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制的多个控制中的一个使图案区域变形的状态下，执行对该变形机构的控制以及对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制的多个控制中的另一个控制，以便缩小该图案区域和已经形成的曝光场之间的形状的剩余差别。

7.根据权利要求5所述的压印装置，其中该变形机构是在与其中通过控制模具保持单元和基板保持单元中的至少一个调整模具和基板之间的间隔的方向垂直的平面中、从彼此正交的两个方向向模具的侧表面施加力的机构，

其中该模具包括用于在该平面的背面使该模具变形的腔，并且包括被配置为调整该腔中的压力的压力调整机构，以及

其中该控制单元被配置为执行以下多个控制中的任何一个：基于所述关于形状的差别的信息对该变形机构的控制、基于所述关于形状的差别的信息和所述关于间隔的信息对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制、和基于所述关于形状的差别的信息对该压力调整机构的控制。

8.根据权利要求7所述的压印装置，其中该控制单元被配置为，在通过执行基于所述关于形状的差别的信息对该变形机构的控制、基于所述关于形状的差别的信息和所述关于间隔的信息对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制、和基于所述关于形状的差别的信息对该压力调整机构的控制的多个控制中的一个使图案区域变形的状态下，执行基于所述关于形状的差别的信息对该变形机构的控制、基于所述关于形状的差别的信息和所述关于间隔的信息对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制、和基于所述关于形状的差别的信息对该压力调整机构的控制的多个控制中的另一个，以便缩小该图案区域和已经形成的曝光场之间的形状的剩余差别。

9.根据权利要求7所述的压印装置，其中该第一获得单元被配置为，在通过执行基于所述关于形状的差别的信息对该变形机构的控制、基于所述关于形状的差别的信息和所述关于间隔的信息对该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个的控制、和基于所述关于形状的差别的信息对该压力调整机构的控制的多个控制中的任何一个使图案区域变形的状态下，能够获得该图案区域和已经形成的曝光场之间的形状的剩余差别。