[发明专利]一种硅烷法流化床生产高纯粒状多晶硅装置及工艺有效
| 申请号： | 201210281841.5 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102815702A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 陈德伟;陈惠祥;郑安雄;廖敏 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅烷法流化床生产高纯粒状多晶硅装置及工艺。流化床反应器上部为反应器加热区，下部为反应器反应区，流化床反应器顶部设有硅晶种加入口、反应器尾气出口，流化床反应器底部设有反应气硅烷进气入口、多晶硅颗粒产品取出口，流化床反应器下部设有反应气氢气进入口；反应器尾气出口、尾气一级冷却器、尾气二级冷却器、压缩机、吸附塔、尾气分析系统顺次相连；气液分离罐入口管线、气液分离罐、气液分离罐液态硅烷出口管线、尾气一级冷却器、返回提纯系统的硅烷管线顺次相连；混合气体直接返回管线、反应器硅烷进气入口顺次相连；气液分离罐顶部设有分离后氢气出口。本发明具有投资少，能耗低，成本低，无污染排放等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 流化床 生产 高纯 粒状 多晶 装置 工艺 | ||
【主权项】：
一种硅烷法流化床生产高纯粒状多晶硅装置，其特征在于包括反应气氢气进入口（1）、反应气硅烷进气入口（2）、 硅晶种加入口（3）、反应器加热区（4）、反应器反应区（5）、多晶硅颗粒产品取出口（6）、反应器尾气出口（7）、尾气一级冷却器（8）、尾气二级冷却器（9）、压缩机（10）、气液分离罐入口管线（11）、气液分离罐（12）、气液分离罐氢气出口管线（13）、气液分离罐液态硅烷出口管线（14）、返回提纯系统的硅烷管线（15）、混合气体直接返回管线（16）、尾气分析系统（17）、吸附塔（18） ；流化床反应器上部为反应器加热区（4），流化床反应器下部为反应器反应区（5），流化床反应器顶部设有硅晶种加入口（3）、反应器尾气出口（7），流化床反应器底部设有反应气硅烷进气入口（2）、多晶硅颗粒产品取出口（6），流化床反应器下部设有反应气氢气进入口（1）；反应器尾气出口（7）、尾气一级冷却器（8）、尾气二级冷却器（9）、压缩机（10）、吸附塔（18）、尾气分析系统（17）顺次相连；气液分离罐入口管线（11）、气液分离罐（12）、气液分离罐液态硅烷出口管线（14）、尾气一级冷却器（8）、返回提纯系统的硅烷管线（15）顺次相连；混合气体直接返回管线（16）、反应器硅烷进气入口（2）顺次相连；气液分离罐（12）顶部设有分离后氢气出口（13）。
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