[发明专利]用于污染物的除去的等离子体反应器有效
| 申请号： | 201210279322.5 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN103028357A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 许民;李载玉;姜宇石;李大勋;金冠泰;宋永焄 | 申请（专利权）人： | 韩国机械研究院 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B01D53/76;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张华卿;郑霞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于污染物的除去的等离子体反应器。提供了用于污染物的除去的等离子体反应器，其被安装在处理室和真空泵之间且除去从处理室放出的污染物。等离子体反应器包括：至少一个介电体，在该介电体中形成了等离子体产生空间；接地电极，其被连接到介电体的至少一端；及至少一个驱动电极，其被固定到介电体的外周表面，且被连接至AC电源单元以接收AC驱动电压。接地电极具有沿着等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 污染物 除去 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
一种用于污染物的除去的等离子体反应器，所述等离子体反应器被安置在处理室和真空泵之间，且产生低压等离子体以除去从处理室放出的污染物，所述等离子体反应器包括：至少一个介电体，在所述介电体中形成有等离子体产生空间；接地电极，其被连接到所述介电体的至少一端；及至少一个驱动电极，其被固定到所述介电体的外周表面，且被连接到AC电源单元以接收AC驱动电压，其中所述接地电极具有沿着所述等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。
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