[发明专利]用于污染物的除去的等离子体反应器

权利要求书

1.一种用于污染物的除去的等离子体反应器，所述等离子体反应器被安置在处理室和真空泵之间，且产生低压等离子体以除去从处理室放出的污染物，所述等离子体反应器包括：

至少一个介电体，在所述介电体中形成有等离子体产生空间；

接地电极，其被连接到所述介电体的至少一端；及

至少一个驱动电极，其被固定到所述介电体的外周表面，且被连接到AC电源单元以接收AC驱动电压，

其中所述接地电极具有沿着所述等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。

2.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中所述介电体被布置在所述等离子体反应器的中心，且

所述接地电极包括：

第一接地电极，其被连接到所述介电体的前端；及

第二接地电极，其被连接到所述介电体的朝着所述真空泵的后端。

3.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极为用于连接所述处理室和所述介电体的连接管，且

所述第二接地电极为用于连接所述介电体和所述真空泵的连接管。

4.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极包括：

均一直径部分，其具有比所述介电体小的直径；及

可变直径部分，其直径沿着污染物的流动方向逐渐增大且所述可变直径部分被固定到所述介电体的前端。

5.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第二接地电极包括：

可变直径部分，其被固定到所述介电体的后端且所述可变直径部分的直径沿着污染物的流动方向逐渐减小；及

均一直径部分，其具有比所述介电体小的直径。

6.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极被固定到所述介电体的前端且具有与所述介电体相同的直径，且

所述第二接地电极包括：

可变直径部分，其被固定到所述介电体的后端且所述可变直径部分的直径沿着污染物的流动方向逐渐减小；及

均一直径部分，其被连接至所述可变直径部分且具有比所述介电体小的直径。

7.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极被固定到所述介电体的前端且具有与所述介电体相同的直径，且

所述第二接地电极包括：

大直径部分，其被固定到所述介电体的后端且具有与所述介电体相同的直径；及

小直径部分，其被连接到所述大直径部分且具有比所述大直径部分小的直径。

8.如权利要求1至权利要求7中任一项所述的等离子体反应器，其中在所述驱动电极与所述第一接地电极之间的第一距离被设定为大于在所述驱动电极与所述第二接地电极之间的第二距离。

9.如权利要求2至权利要求8中任一项所述的等离子体反应器，其中所述驱动电极以环形形状或圆柱形形状布置在所述介电体的外周表面上，且

所述驱动电极被安置在沿着所述等离子体反应器的纵向方向距所述第一接地电极和所述第二接地电极一定距离处。

10.如权利要求2至权利要求8中任一项所述的等离子体反应器，其中所述驱动电极包括第一驱动电极和第二驱动电极，所述第一驱动电极和所述第二驱动电极以环形形状或圆柱形形状布置在所述介电体的外周表面上且被安置在距彼此一定距离处，且

所述第一驱动电极和所述第二驱动电极分别被安置在沿着所述等离子体反应器的纵向方向距所述第一接地电极和所述第二接地电极一定距离处。

11.如权利要求10所述的等离子体反应器，其中所述第一驱动电极和所述第二驱动电极接收具有相同水平和相反极性的双极性脉冲电压。

12.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中所述介电体包括被安置在距彼此一定距离处的第一介电体和第二介电体，且

所述接地电极包括被安置在所述第一介电体和所述第二介电体之间且具有非均一直径的第三接地电极。

13.如权利要求12所述的等离子体反应器，其中所述第一介电体和所述第二介电体具有相同的长度和相同的直径。