[发明专利]通过涉及电子附着的无助焊剂方法去除表面氧化物的装置和方法

摘要

本文描述了通过电子附着去除部件表面上金属氧化物的方法和装置。一个实施方案中，提供了一种场发射装置，其中电子附着于至少一部分还原气体，形成带负电的原子离子，这些离子去除金属氧化物，该场发射装置包括：阴极，所述阴极包括导电材料并包括至少一个或多个具有成角度边缘或大曲率表面的突起，其中阴极被介电材料围绕，介电材料则被导电阳极围绕，其中阴极和阳极各自连接电压源，且阴极和阳极之间的介电材料被极化，增强电场强度并在阴极顶点累积电子以促进电子从阴极的场发射。

主权项

用于在环境压力条件下发射电子的装置，该装置包括：具有成角度边缘并包括传导材料的阴极，其中所述材料的逸出功范围为2‑5 eV；介电材料，其围绕至少一部分阴极；和包括传导材料的阳极，其围绕至少一部分介电材料，其中，阴极和阳极各自连接电压源；和其中，阴极和阳极之间的介电材料被极化，以提供增强的电场，并在阴极边缘累积电子，从而从阴极产生电子。